橢圓偏振光譜（SE）是一種成熟的光學技術，用于以非破壞性和非接觸方式表征塊狀材料，薄膜，涂層，表面層和嵌入層。對于常規和晶圓廠加工質量控制，必須有一個自動盒式裝卸機。為此，我們開發了一種低成本解決方案，可將晶圓尺寸從2“擴展到8”（臺式），將塔式尺寸擴展到12“。用戶甚至可以為每個插槽定義配方，從而為整個盒式磁帶測量定義配方。

橢圓偏振光譜儀SE-Solar專為光伏（PV）應用而設計。它可以配置為覆蓋DUV到NIR范圍，可以使用手動測角儀以5度間隔改變入射角，也可以配置為自動測角儀，分辨率為0.001度?；陉嚵械臋z測設置可為用戶提供快速測量，每個數據只需幾秒鐘。當需要映射或實時原位測量時，這是所有SE模型中的*選擇。

對于某些應用（例如MEMS或半導體產品晶圓上的功能），希望有一個小的探測點。將顯微分光光度計與橢圓偏振光度計集成在一起后，工具的功能將大大擴展?？赏ㄟ^橢圓偏振光度法在超薄膜上工作，并且還具有通過微反射法與橢圓度計和微分光光度計相結合的獨特配置的小面積微反射法。

紅外光譜橢圓儀（IRSE）可以表征材料的結構（厚度，界面，表面粗糙度，污染），光學（光學常數），電（導電性）以及化學信息。

光譜橢偏儀可配置從DUV到NIR的波長范圍。DUV范圍可用于測量超薄膜，如納米厚度范圍。比如硅晶片上的原生氧化物，其通常僅為約1至2nm厚。當用戶需要測量許多材料的帶隙時，深紫外光譜橢偏儀也是*的?？梢娀蚪t外范圍用于測量相對厚或非常厚的涂層。